東河金剛線切環機專注於高價值、高損耗半導體環件的切割,是蝕刻機快速消耗件 — 矽聚焦環,以及高端熱場與腔體部件 —— 碳化矽 / 陶瓷環製造的理想解決方案。
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技術參數
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 線徑長度 | 约5518 mm |
| 線徑範圍 | φ0.35~φ1.0 mm |
| 旋轉進給速度 | 0.01~2 mm/s |
| 最高線速度 | 60 m/sec Max. |
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型號規格

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